株洲三一硅能申请单晶炉抽真空专利,减少占用空间

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金融界2024年10月26日消息,国家知识 *** 信息显示,株洲三一硅能技术有限公司申请一项名为“单晶炉的抽真空 *** 及单晶炉的抽真空 *** ”的专利,公开号 CN 118814255 A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明涉及真空 *** 技术领域,提供一种单晶炉的抽真空 *** 及单晶炉的抽真空 *** ,其中,单晶炉的抽真空 *** 包括单晶炉和泵站,单晶炉设置有至少一组,每组单晶炉对应设置一个泵站;泵站包括之一抽真空装置、第二抽真空装置和之一控制阀组;第二抽真空装置的 *** 能指标优于之一抽真空装置的 *** 能指标;之一控制阀组适于控制之一抽真空装置与任意一个单晶炉之间的通断状态,且适于控制第二抽真空装置与任意一个单晶炉之间的通断状态。如此设置,一组单晶炉共用一个泵站,减少了真空泵的设置数量,减少占用空间,降低了成本。且根据不同的工况按需选用之一抽真空装置和第二抽真空装置中的一者,避免了高配低用导致的浪费问题。

来源:金融界

株洲三一硅能申请单晶炉抽真空专利,减少占用空间-第1张图片-

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